安捷倫科技（中國）有限公司
使用Agilent GC/MSD 通過罐采樣分析環(huán)境空氣中的65種揮發(fā)性有機化合物
檢測樣品：空氣
檢測項目：VOCs
方案概述：本應(yīng)用簡報介紹了一種使用罐采樣分析氣體的方法。通過 Markes Multi-Gas 熱脫附儀 (TD) 將樣品進(jìn)樣至配備 Agilent 5977 單四極桿質(zhì)量選擇檢測器 (MSD) 的 Agilent 8890 氣相色譜儀 (GC)，分析大氣或半導(dǎo)體潔凈室中的揮發(fā)性有機化合物 (VOCs)。
在環(huán)境空氣的 VOCs 分析中，熱脫附氣質(zhì)聯(lián)用系統(tǒng) (TD-GC/MSD) 是環(huán)境監(jiān)測實驗室和半導(dǎo)體行業(yè)潔凈室中常用的檢測方法。對于樣品采集，一般有以下兩種常見方法。第一種是使用吸附管進(jìn)行樣品采集和預(yù)富集，然后通過TD-GC/MSD 系統(tǒng)進(jìn)行分析。HJ 734-2014[2] 方法規(guī)定使用吸附管和 TD-GC/MSD 來檢測 24 種 VOCs。Markes International 發(fā)布了一篇基于 HJ734 方法的應(yīng)用簡報，其中介紹了使用吸附管采樣方法所獲得的出色的性能結(jié)果[3]。另一種方法是采用預(yù)抽真空的采樣罐來采集樣品，并利用低溫冷凝進(jìn)行預(yù)富集。HJ759-20234 標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)介紹了采用罐采樣測定環(huán)境空氣中65 種 VOCs 的方法。
本研究參考 HJ759-2023 方法，通過罐采樣對 65 種 VOCs 進(jìn)行了定性和定量分析，獲得的結(jié)果具有出色的線性、高精度以及優(yōu)異的重現(xiàn)性。這充分體現(xiàn)了整個 TD-GC/MSD 系統(tǒng)的全流路惰性、高靈敏度以及耐用性。
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